米兰体育网站:EUV光刻机大打破技能全解密
发布时间:2026-03-19 18:33:43 发布作者:米兰体育网站
全球微影设备龙头艾司摩尔(ASML)宣告,已找到办法强化芯片制作设备的光源功率,估计可在2030年末前让芯片产值进步最多五成,凸显尽管美国和我国都想改动ASML几近独占位置,它仍与竞争者坚持极大技能距离,不只其最大客户台积电是最大受益者,关于巴望获得更强壮功率的AI两大要害芯片、AI加快器和高频宽记忆体(HBM)厂商而言也是好音讯。
ASML研究员发现办法,能将全球最先进的极紫外光(EUV)微影设备的光源功率,从如今的六百瓦特进步至一千瓦特,最大优点是光源功率愈强,每小时能出产更多芯片,有助下降每颗芯片的本钱。芯片印制办法相似相片,用EUV光线照在涂有光阻剂的矽晶圆上;光源功率愈强,芯片曝光时刻愈短。
ASML宣告这项音讯之所以引发半导体商场震慑,在于进步EUV的光源输出功率后,能进步EUV产出晶圆的功率,从每小时约220片进步至330片。
现在一台最贵的EUV设备要价高达三亿到四亿美元(约台币九十四亿至一二五亿元),晶圆厂买来的意图是要出产更高效能的芯片,但为什么得花这么多钱去买这么贵重的设备?原因是芯片规划愈来愈杂乱,相同的面积得放入数百亿颗乃至千亿颗电晶体,意谓曝光在矽晶圆上的线宽愈做愈小,传统光源现已「画不出来」。
EUV便是要让芯片内的线路更细且要赶快缩短曝光时刻,特地打造出来的微影设备,波长比本来的深紫外光(DUV)更短,只要13.5纳米,波长等于只要DUV的十四分之一,解析度却能够大幅进步。
EUV的曝光原理即使用极高强度的雷射光源,透过雷射放大器构成雷射光束,以每秒五万次速度击中约三分之一人类发宽的锡滴,发生EUV光源,之后再通过精细的反射镜组引导到需求曝光的晶圆上。
ASML宣告透过进步要害芯片制作设备的光源功率,估计可在2030年末前让芯片产值进步最多百分之五十。无疑将让现在出产这些重要AI要害芯片的台积电、三星、英特尔、SK海力士和美光,将在现有EUV出产体系上,进步这些重要AI芯片和记忆体的产值,对AI由云端向边际端加快速度进行开展的半导体工业,带来决定性的奉献。
从另一个层面看,ASML在半导体先进制程设备商场几近独占,在这场AI赛局,愈来愈多国家想得到这款顶级设备,乃至改变ASML独占局势。
美国也注资拔擢开展可替代ASML独占位置的EUV曝光技能公司如Substrate及Xlight等。尽管美中扶持的公司还未能要挟ASML,却已促进ASML加快技能行进脚步,而未来进入AI全面化的年代,要有更强的出产设备,才干出产更强壮的AI芯片。
,米兰体育台子上一篇:2nm芯片代工大乱斗
浙公网安备浙ICP备11016563号-3
关于我们
联系我们